[发明专利]一种双壁多结构石英筒装置在审
| 申请号： | 202011378056.2 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112447486A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;胡冬冬;刘小波;程实然;郭颂;张霄;陈璐;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 马严龙 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种双壁多结构石英筒装置，属于离子束刻技术领域。具体包括石英筒外壁，石英筒外壁内设有至少一个石英筒内衬，且二者轴心线重合，石英筒内衬与石英筒外壁之间连接有石英筒内衬支撑。石英筒外壁与所述石英筒内衬的底部连接栅网，刻蚀副产物会通过栅网的空隙绝大部分溅射到石英筒内衬的内表面，较少的刻蚀副产物会附着在石英筒外壁的内壁上，因此射频整体回路受沾污影响大大降低，换而言之刻蚀速率受沾污影响大幅度减轻，增加了石英筒装置的使用寿命，减少了刻蚀成本，增加了离子束刻蚀的MTBC时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双壁多 结构 石英 装置 | ||
【主权项】：
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