[发明专利]一种双壁多结构石英筒装置在审
| 申请号： | 202011378056.2 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112447486A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;胡冬冬;刘小波;程实然;郭颂;张霄;陈璐;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 马严龙 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双壁多 结构 石英 装置 | ||
1.一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，包括石英筒外壁（100），所述石英筒外壁（100）内设有至少一个石英筒内衬（110），且二者轴心线重合，所述石英筒内衬（110）与所述石英筒外壁（100）之间连接有石英筒内衬支撑（120）。
2.根据权利要求1所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述石英筒外壁（100）为筒状结构，包括筒壁（100a）和顶盖（100b）。
3.根据权利要求2所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述顶盖（100b）的中心位置设有进气嘴（20）。
4.根据权利要求3所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述进气嘴（20）上连接有匀气盘（21）。
5.根据权利要求1所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，相邻两个所述石英筒内衬（110）之间设有一定的距离。
6.根据权利要求5所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述石英筒内衬（110）为折弯件，折弯角度与所述石英筒外壁（100）相一致，且所述折弯件的折弯部分别与所述石英筒外壁（100）的筒壁（100a）、顶盖（100b）相平行。
7.根据权利要求6所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述折弯件的高度小于所述石英筒外壁（100）的高度。
8.根据权利要求1所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述石英筒外壁（100）与所述石英筒内衬（110）的底部连接栅网（13）。
9.根据权利要求1所述的一种双壁多结构石英筒装置，其特征在于，所述石英筒内衬支撑（120）与所述石英筒内衬（110）、所述石英筒外壁（100）的连接方式为焊接。
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