[发明专利]检查方法以及检查装置在审
| 申请号： | 202011348820.1 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112881384A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 岩田祐士;造田茂彦;后藤洋臣;小关英一;米田恭子;西本尚弘;坂内尚史;竹内一平 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的之一在于缩短调焦所需要的时间。只要拍摄条件未被保存(最初对观察点进行拍摄时)，则检查装置执行自动对焦处理，获取显微镜照相机的焦点与观察点对焦的合焦位置，将得到的合焦位置保存至存储装置。另一方面，只要拍摄条件被保存(第2次之后对观察点进行拍摄时)，则检查装置从存储装置中读出合焦位置，将显微镜照相机的焦点设定为读出的合焦位置来拍摄观察点。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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