[发明专利]一种监测及确认半导体器件老化状态的方法、装置及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202011325101.8 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112505519B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 赖俊生 | 申请（专利权）人： | 赖俊生 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳市汉瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 44766 | 代理人： | 李航 |
| 地址： | 中国香港马*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体老化测试技术领域，公开了一种监测及确认半导体器件老化状态的方法，包括：持续采集一段时间内所述半导体器件的至少一个性能参数；监测至少一个所述性能参数的数值变化；根据所述性能参数的数值变化确认所述半导体器件的老化状态。本发明通过监测半导体器件一种或多种性能参数的组合的数值变化，能够及时监测和确认老化完成的时间点，有效缩短了老化测试的时间，进而提高了产品的质量且降低了测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监测 确认 半导体器件 老化 状态 方法 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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