[发明专利]一种石英半球谐振子纳米制造装备有效
| 申请号： | 202011316697.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112461264B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;刘冬冬;冯坚强 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;B82Y40/00;B24B1/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米制造、超精密加工、特种加工技术领域，提供了一种石英半球谐振子纳米制造装备。在原有的数控机床基础进行改造。该装备包括：数控微纳移动旋转平台、分度装置、聚焦离子束装置、化学机械抛光装置，激光干涉仪检测成像装置，辅助功能装置等。本装备可以实现一次装夹，同时完成磨削，超精密磨削，化学机械抛光，表面精度测量和离子束加工修型等几道工序，涉及到从宏观的材料去除到微观的纳米材料加工，实现的半球陀螺宏微纳一体化制造加工，使其达到表面粗糙度，圆度，圆柱度均小于100nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 半球 谐振子 纳米 制造 装备 | ||
【主权项】：
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