[发明专利]一种短焦距二片式自由曲面f-theta物镜在审
申请号: | 202011311079.1 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN112327454A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 陈涛;刁彦飞;李楠;魏江峰;徐航宇 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00;G02B13/18;G02B26/10 |
代理公司: | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人: | 刘英梅 |
地址: | 300131 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种短焦距二片式自由曲面f‑theta物镜,包括第一镜片和第二镜片,第一镜片具有第一光学面和第二光学面,第二镜片具有第三光学面和第四光学面;所述第一光学面和第三光学面为入射光面,该两光学面的面型为非球面;所述第二光学面和第四光学面为出射光面,该两光学面的面型整体为自由曲面,且在副扫描方向为对称非球面,在主扫描方向为非对称自由曲面;激光通过第一镜片会聚,再经过第二镜片进一步会聚。本发明的两镜片的出射光面采用自由曲面,满足了扫描系统高分辨率、大工作面、小型化需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 焦距 二片式 自由 曲面 theta 物镜 | ||
【主权项】:
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