[发明专利]全自动补胶机在审
| 申请号： | 202011302280.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112337739A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 彭文学;郑振平;钟贤青;慎厚清;刘秀东 | 申请（专利权）人： | 开异智能技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05B15/50;B05B15/55;G03F7/16 |
| 代理公司： | 沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134 | 代理人： | 喻慧玲 |
| 地址： | 201601 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体加工的技术领域，特别是涉及全自动补胶机，其提高补胶工作效率，增加涂胶均匀度，增加对环境的保护，减少资源的浪费；还包括机架、花篮移栽机构、晶圆上料架、顶升机构、气缸、氧化铝吸盘、三爪自动定心机构、XZ伺服模组、回吸阀和柱塞泵，花篮移栽机构底端滑动安装在机架顶端，晶圆上料架底端安装在机架顶端，顶升机构顶端安装在机架操作台底端，气缸底端安装在机架顶端，并且气缸与晶圆上料架轴向配合安装，氧化铝吸盘右端固定在气缸左侧输出端，三爪自动定心机构固定安装在气缸左侧输出端，XZ伺服模组安装在机架顶端后侧，并且回吸阀配合安装在XZ伺服模组操作壁上，柱塞泵安装在XZ伺服模组顶端。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 补胶机 | ||
【主权项】：
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