[发明专利]全自动补胶机在审
| 申请号： | 202011302280.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112337739A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 彭文学;郑振平;钟贤青;慎厚清;刘秀东 | 申请（专利权）人： | 开异智能技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05B15/50;B05B15/55;G03F7/16 |
| 代理公司： | 沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134 | 代理人： | 喻慧玲 |
| 地址： | 201601 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全自动 补胶机 | ||
1.全自动补胶机，其特征在于，还包括机架(1)、花篮移栽机构(2)、晶圆上料架(3)、顶升机构(4)、气缸(5)、氧化铝吸盘(6)、三爪自动定心机构(7)、XZ伺服模组(8)、回吸阀(9)和柱塞泵(10)，花篮移栽机构(2)底端滑动安装在机架(1)顶端，晶圆上料架(3)底端安装在机架(1)顶端，顶升机构(4)顶端安装在机架(1)操作台底端，气缸(5)底端安装在机架(1)顶端，并且气缸(5)与晶圆上料架(3)轴向配合安装，氧化铝吸盘(6)右端固定在气缸(5)左侧输出端，三爪自动定心机构(7)固定安装在气缸(5)左侧输出端，XZ伺服模组(8)安装在机架(1)顶端后侧，并且回吸阀(9)配合安装在XZ伺服模组(8)操作壁上，柱塞泵(10)安装在XZ伺服模组(8)顶端，并且柱塞泵(10)输出端与回吸阀(9)连通。
2.如权利要求1所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括无尘布擦拭机构(11)，无尘布擦拭机构(11)底端沿Y轴方向滑动连接在机架(1)顶端，并且无尘布擦拭机构(11)位于晶圆指定补胶位置。
3.如权利要求2所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括丙酮清洗槽(12)和氮气喷嘴(13)，丙酮清洗槽(12)底端安装在机架(1)顶端，丙酮清洗槽(12)顶端位于设置有取放口，并且取放口位于回吸阀(9)原点底部，氮气喷嘴(13)底端安装在机架(1)顶端后侧，并且氮气喷嘴(13)输出端位于回吸阀(9)原点位置。
4.如权利要求3所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括FFU过滤风机(14)，FFU过滤风机(14)底端支撑安装在机架(1)顶端，并且FFU过滤风机(14)位于补胶装置顶部。
5.如权利要求4所述的全自动补胶机，其特征在于，还包括多个福马轮(15)，多个福马轮(15)顶端分别配合安装在机架(1)底端。
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