[发明专利]一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备在审
| 申请号： | 202011300621.3 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114583044A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈右儒 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047;H01L41/22;H01L41/29 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备，涉及压电技术领域。本发明通过在压电元件中设置第一电极以及位于第一电极上的第二电极，第二电极具有暴露出第一电极的开口，并在压电元件中设置压电结构，该压电结构包括第一压电部和围绕第一压电部设置的第二压电部，第一压电部设置在开口内并与第一电极接触，第二压电部设置在第二电极远离第一电极的一侧，第二压电部具有取向性。通过在第一电极上增加第二电极，并且在第一电极上生长第一压电部，在第二电极上生长第二压电部，使得围绕第一压电部的第二压电部具有取向性，提高压电结构边缘的薄膜强度，避免压电结构的边缘位置出现缺陷，进而避免了缺陷位置因振动出现破损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 元件 振动器 及其 制作方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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