[发明专利]非球形的二氧化硅颗粒及其制备方法和抛光液在审

专利信息
申请号: 202011295983.8 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN114539813A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 杨勍;王树东;苏宏久;邹海良;任高远;周慧慧 申请(专利权)人: 华为技术有限公司;中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: C09C1/30 分类号: C09C1/30;C09C3/08;C09G1/02
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 张小丽
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请提供一种用作抛光的磨料的非球形的二氧化硅颗粒,为纳米二氧化硅通过与硅烷偶联剂反应而连接形成非球形的团簇,化学结构通式为(SiO2)a‑(A1)b‑(A2)c‑(SiO2)d,其中a、b和d均为大于等于1的自然数,c为大于等于0的自然数,A1、A2均为硅烷偶联剂水解接枝在SiO2表面的基团,A1和A2均通过硅氧基接枝在SiO2表面。本申请还提供该种非球形的二氧化硅颗粒的制备方法以及含有该种非球形的二氧化硅颗粒的抛光液。所述非球形的二氧化硅颗粒作为化学机械平坦化工艺的抛光液的磨料,具有高的去除速率且对产品(如芯片)的划痕少。
搜索关键词: 球形 二氧化硅 颗粒 及其 制备 方法 抛光
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司;中国科学院大连化学物理研究所,未经华为技术有限公司;中国科学院大连化学物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011295983.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top