[发明专利]非球形的二氧化硅颗粒及其制备方法和抛光液在审
申请号: | 202011295983.8 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN114539813A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 杨勍;王树东;苏宏久;邹海良;任高远;周慧慧 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司;中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | C09C1/30 | 分类号: | C09C1/30;C09C3/08;C09G1/02 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 张小丽 |
地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本申请提供一种用作抛光的磨料的非球形的二氧化硅颗粒,为纳米二氧化硅通过与硅烷偶联剂反应而连接形成非球形的团簇,化学结构通式为(SiO |
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搜索关键词: | 球形 二氧化硅 颗粒 及其 制备 方法 抛光 | ||
【主权项】:
暂无信息
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