[发明专利]一种晶圆片自动定位显影装置及方法在审
| 申请号： | 202011284139.5 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112198772A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 丁波;李轶;陈瀚;赵耀;陈登奎;杭海燕 | 申请（专利权）人： | 上海微世半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 张坚 |
| 地址： | 201401 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆片自动定位显影装置，包括上料机构、下料机构以及位于上料机构与下料机构间的显影机构，显影机构包括离心筒、设于离心筒中的旋转吸头以及位于离心筒上方的喷淋装置，还包括位于离心筒上方的对位装置，所述对位装置包括两个能够相向移动的对中卡爪，本发明还提供了一种晶圆片自动定位显影方法，在喷洒显影液前先对晶圆片进行对中。通过设置对位装置对位于吸盘上的晶圆片进行对中,使晶圆片与旋转吸头保持同心，这样晶圆片在旋转时就不会产生偏心力矩，使显影液能够被均匀的喷涂于晶圆片上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 自动 定位 显影 装置 方法 | ||
【主权项】：
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