[发明专利]一种晶圆片自动定位显影装置及方法

权利要求书

1.一种晶圆片自动定位显影装置，包括上料机构(200)、下料机构(400)以及位于所述上料机构(200)与下料机构(400)间的显影机构(300)，所述显影机构(300)包括离心筒(320)、设于所述离心筒(320)中的能够进行升降的旋转吸头(330)以及位于所述离心筒(320)上方的喷淋装置(350)，所述上料机构(200)能够将晶圆片转移至所述旋转吸头(330)上，所述下料机构(400)能够取走位于所述旋转吸头(330)上的晶圆片，其特征在于：还包括位于离心筒(320)上方的对位装置(360)，所述对位装置(360)包括两个能够相向移动的对中卡爪(363)，所述两个对中卡爪(363)对称布置于所述旋转吸头(330)中轴线的两侧，所述对中卡爪(363)的内侧具有适配所述晶圆片边缘的顶块(364)。

2.按照权利要求1所述的晶圆片自动定位显影装置，其特征在于：所述上料机构(200)包括第一导轨(210)、设于所述第一导轨(210)上的第一滑块(211)，设于所述第一滑块(211)上的取料机构(220)和设于所述第一导轨(210)旁的第一储料机构(230)，所述下料机构(400)包括第二导轨(410)、设于所述第二导轨(410)上的第二滑块(411)、设于所述第二滑块(411)上的送料机构(420)和设于所述送料机构(420)旁的第二储料机构(430)，所述第一导轨(210)、第一储料机构(230)、第二导轨(410)、第二储料机构(430)将所述显影机构(300)合围于其中。

3.按照权利要求2所述的晶圆片自动定位显影装置，其特征在于：所述取料机构(220)和送料机构(420)的结构一致，包括连接所述第一滑块(211)或第二滑块(411)的底板(500)、与所述底板(500)滑动连接的运动上板(530)、与所述运动上板(530)滑动连接的运动滑台(540)、设于所述运动滑台(540)上的料叉(550)，所述运动上板(530)能够相对底板(500)向前伸出，所述运动滑台(540)能够相对所述运动上板(530)向前伸出。

4.按照权利要求3所述的晶圆片自动定位显影装置，其特征在于：还包括设于底板(500)上的皮带驱动轮组(560)和设于运动上板(530)上的皮带联动轮组(570)，所述皮带驱动轮组(560)包括主动轮(561)、从动轮(562)、连接所述主动轮(561)的电机(563)和绕设在所述主动轮(561)和从动轮(562)上的第一皮带(564)，所述皮带联动轮组(570)包括第一皮带轮(571)、第二皮带轮(572)与绕设在所述第一皮带轮(571)和第二皮带轮(572)上的第二皮带(573)，所述运动上板(530)上设有夹住第一皮带(564)上传动段的第一夹紧片(533)，所述底板(500)上设有连接第二皮带(573)下传动段的连接片(501)，所述运动滑台(540)上设有夹住所述第二皮带(573)上传动段的第二夹紧片(541)。

5.按照权利要求4所述的晶圆片自动定位显影装置，其特征在于：所述第一储料机构(230)和第二储料机构(430)的结构一致，包括竖向导轨(231)、设于所述竖向导轨(231)上的滑块(232)和连接所述滑块(232)的放置架(233)，所述放置架(233)面朝所述料叉(550)的一端具有敞口，所述放置架(233)两侧的内壁上间隔布置有多道用于放置晶圆片的隔板(234)。

6.按照权利要求1所述的晶圆片自动定位显影装置，其特征在于：所述喷淋装置(350)包括位于所述离心筒(320)旁的横向导轨(351)、设于所述横向导轨(351)上的滑座(352)、连接所述滑座(352)的喷淋支架(353)以及设于所述喷淋支架(353)一端的喷淋头(354)，所述喷淋头(354)位于所述离心筒(320)的上方。