[发明专利]一种用于真空镀膜的夹具在审
申请号: | 202011274828.8 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN112501575A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 李县内 | 申请(专利权)人: | 李县内 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 杨敬 |
地址: | 363000 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于真空镀膜的夹具,属于真空镀膜领域。一种用于真空镀膜的夹具,包括:框架、底座与隔板;所述框架包围所述底座,所述框架上形成多个窗口,所述隔板嵌入并覆盖所述窗口,与所述框架围成密封的空腔,所述底座布置在所述空腔中;所述底座上固定安装有载物台,所述载物台的上端面上形成用于固定镀膜部件的凹槽;所述载物台的上方布置有若干悬挂架,所述悬挂架的上端与所述框架固定连接,所述悬挂架的下端固定安装有箱体,所述箱体的下端面上形成开口,所述箱体中可拆卸地固定安装有固定头,所述固定头的下端从所述开口中探出,所述固定头的下端面上安装有喷管,所述喷管开口向下。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 夹具 | ||
【主权项】:
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