[发明专利]一种光器件在审
申请号: | 202011272415.6 | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN112269276A | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 杨妍;唐波;张鹏;欧祥鹏;孙富君;李彬;刘若男;黄凯;谢玲;刘道群;李志华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
代理公司: | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种光器件,涉及光器件技术领域,用于在加热电极加热过程中,使光波导均匀受热,从而提高光器件的工作性能。该光器件包括:基底和热场调节部。基底具有光波导、以及位于光波导上方的加热电极。加热电极具有镂空区域。热场调节部位于光波导和加热电极之间。热场调节部用于在加热电极加热过程中,调节加热电极所产生的热场的传导范围,以使光波导均匀受热。 | ||
搜索关键词: | 一种 器件 | ||
【主权项】:
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