[发明专利]基于面形误差频段的脉冲控制可调束径的离子束加工方法有效
| 申请号： | 202011267698.5 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112428026B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 田野;石峰;周光奇;宋辞;铁贵鹏;周港 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于面形误差频段的脉冲控制可调束径的离子束加工方法，本发明根据面形测量结果确定加工误差解算各个网格的目标束径和驻留时间，并通过光学加工系统依次对被加工元件的各个网格基于目标束径和驻留时间进行修形，从而实现了定时、定束径地引出离子束进行加工，避免了传统离子束单次加工时，以单个频段对整个面形进行溅射去除，带来的截止频率下的残差和机床动态性能未能达到理想条件引起的驻留时间误差等，不仅达到了高精度修调的目的，同时也提高了加工的效率，有利于提高加工精度，节约原材料，降低生产的成本。具有高精度和效率兼备、可操作性强、经济实用性强、工艺流程简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 误差 频段 脉冲 控制 可调 离子束 加工 方法 | ||
【主权项】：
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