[发明专利]一种高阻片的电阻测量方法在审
| 申请号： | 202011266350.4 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112485528A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈正;单彩霞;陈强;樊宇;张平;徐杰;关春洋;张彬 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 221008 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高阻片的电阻测量方法，包括以下步骤：(1)将高阻片进行快速热处理；(2)将经步骤(1)处理后得到的高阻片进行钝化前预处理；(3)将经步骤(2)处理后得到的高阻片清洗；(4)将经步骤(3)处理后得到的高阻片进行钝化处理；(5)利用四探针法测量步骤(4)得到的高阻片的电阻值。本发明通过向高阻片氧化层中注入带电离子，中和氧化层中产生的电子，由此避免自然氧化层中带电悬挂键对高阻片电阻测量的影响，从而较为准确的测量出高阻片电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高阻片 电阻 测量方法 | ||
【主权项】：
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