[发明专利]一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法有效
| 申请号： | 202011254831.3 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112366273B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 赣州优膜科技有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/093 | 分类号： | H10N30/093;H10N30/88;H10N30/85 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 孙文伟 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市赣州经济*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法，制备方法包括(1)以镍合金基带为衬底，选用或不选用特定织构化缓冲层；(2)在缓冲层上制备或不制备底电极薄膜；(3)进一步在缓冲层或底电极薄膜上外延生长未掺杂ZnO压电薄膜；(4)最后在ZnO薄膜上制备顶电极薄膜。得到的柔性ZnO薄膜电激发器：1.压电ZnO薄膜面外晶体取向为ZnO，具有极性；2.薄膜电激发器压电响应曲线为线性曲线，无电滞回线特性；3.薄膜电激发器纵向压电系数可调，数值范围为1‑50pm/V。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 衬底 具有 线性 可调 压电 特性 zno 薄膜 激发 制备 方法 | ||
【主权项】：
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