[发明专利]一种等离子刻蚀设备有效
| 申请号： | 202011248844.X | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112259435B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 姚群;刘禹辰;刘亮;刘海;曾劲刚 | 申请（专利权）人： | 湖南旭昱新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 湖南省森越知运专利代理事务所(普通合伙) 43258 | 代理人： | 尤志君 |
| 地址： | 415100 湖南省常德市鼎城区灌溪镇（常*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及刻蚀相关技术领域，具体是一种等离子刻蚀设备，包括机架和等离子作业架，机架的底部设置有承载基板，定位机构的上设置有夹持块，夹持块的内侧设置有内嵌片，承载基板的上设置有微调轨道，夹持块通过内嵌片安装在微调轨道内，夹持块的内侧设置有内置限位槽，内置限位槽内设置有边沿卡合口，边沿卡合口的内侧设置有绝缘垫片，夹持块的两侧设置内推座，等离子作业架的底端设置有复合压盘，复合压盘的底部设置有盖合槽口，盖合槽口的内腔设置有负电极板，盖合槽口的两端设置有接电桩，接电桩的顶部设置有正电极接头。本申请设计掩模板的表面与被刻蚀金属接触，从而达到刻蚀的技术效果，并且进一步作业的稳定性，保证刻蚀的作业精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
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