[发明专利]一种射频电源的控制方法及装置

摘要

本申请公开了一种射频电源的控制方法及装置，属于射频电源控制技术领域，获取第一工艺参数，并根据第一工艺参数选择工作模式；获取第二工艺参数，以判断每个射频电源是否为高功率激发：控制器控制射频电源进入第一激发工作状态或第二激发状态，并根据工作模式控制射频电源的工作；通过对不同射频电源的独立控制来满足在一次沉积工艺中对不同的基板沉积不同的膜层，或者在同一基板上沉积多层次的膜层，增强了工艺的灵活性和设备的通用性，提高了设备的利用率和产能。