[发明专利]一种刻蚀机在审
申请号: | 202011208927.6 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN114446750A | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 钱强;袁鸣 | 申请(专利权)人: | 无锡芯汉电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214071 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种刻蚀机,包括固定腔,所述固定腔底部贯穿连接有空心腔,所述空心腔内腔固定设置有正反转电机,所述固定腔内腔顶部设置有两个转轴,所述正反转电机输出轴端部与其中一个转轴传动连接,两个所述转轴外周面均固定设置有皮带轮以及主动齿轮,两个所述皮带轮之间连接有传动皮带,所述固定腔内腔四角位置处均设置有转杆。本发明通过四个支脚实现对固定腔支撑,提高刻蚀机本体的稳定性,正反转电机正转带动四个转杆转动,进而带动活动板向下移动,通过四个万向轮实现将固定腔顶起,便于刻蚀机本体移动,从而使得刻蚀机本体能够根据需要实现固定与移动,且固定效果好,移动便捷。 | ||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 | ||
【主权项】:
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