[发明专利]一种物理气相沉积的方法在审
| 申请号： | 202011207929.3 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN112410736A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王刚权 | 申请（专利权）人： | 深圳市金源康实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种物理气相沉积的方法，包括以下步骤：步骤1：对于渡件的清洗包括将渡件浸泡到除油清洗剂中清洗处理，清洗完后的渡件进行超声波清洗，然后在高纯水中进行慢拉脱水处理，之后使用循环热风进行烘干渡件的预处理包括除静电和涂底漆；对真空室和渡件夹具的清洗包括将真空室与渡件夹具通过酸性混合溶液浸泡，将金属膜去除，浸泡清洗完后采用去离子水对真空室进行冲洗，然后用惰性气体对真空室进行吹干，再次使用易挥发的有机溶液进行二次冲洗，之后再次通入氮气，同时进行烘烤；步骤2：真空蒸镀处理；步骤3：冷却；步骤4：取出渡件。本发明提供的一种物理气相沉积的方法，在渡件前进行清洁处理，提高镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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