[发明专利]用于避免振梁加速度计的电容馈通的谐振器电极配置在审
| 申请号： | 202011207142.7 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112782427A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 约翰·赖因克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 吕传奇 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明题为“用于避免振梁加速度计的电容馈通的谐振器电极配置”。本公开描述了将加速度计谐振器的电容梳指配置成具有驱动电极和至少两个感测电极的离散电极的技术。电信号的路由被配置为产生大致相等的寄生馈通电容。感测电极可被放置在该移动谐振器梁的相对侧上，使得相对于位移的电容变化(例如，dC/dx)的量值大致相等并且符号相反。布置可导致符号也相反的感测电流并且导致相同符号的馈通电流。来自谐振器的感测输出端可连接到差分放大器，使得输出电流的差异可减轻馈通电流的影响并消除寄生馈通电容。寄生馈通电容可导致增加的加速度计噪声和减小的偏置稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 避免 加速度计 电容 谐振器 电极 配置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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