[发明专利]一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法在审
| 申请号： | 202011196300.3 | 申请日： | 2020-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112111725A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 郭海滨;徐娟;郑辉;刘河潮;杨琼;徐彦;杨红新 | 申请（专利权）人： | 华北水利水电大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 王晓丽 |
| 地址： | 450011 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法，该方法包括以下步骤：a.包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；b.在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶；c.热电偶与测温仪相连；d.镀膜机抽真空，待真空达到要求值，进行开靶作业；e.设定不同的靶位功率，同时通入氩气，通过测温仪得到不同功率下的Plasma温度。此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；成本低，可多次使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷绕 镀膜 plasma 温度 装置 方法 | ||
【主权项】：
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