[发明专利]一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法

权利要求书

1.一种测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：包括以下步骤：

a.包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓（4）外套设有镀膜室（13），镀膜室（13）内均匀设置气体挡板（14），气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；

b.在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板（15），Mask挡板上均匀设置有热电偶（16）；

c.热电偶与测温仪相连；

d.镀膜机抽真空，待真空达到要求值，进行开靶作业；

e.设定不同的靶位功率，同时通入氩气通过测温仪得到不同功率下的Plasma温度。

2.根据权利要求书所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：所述步骤b热电偶与镀膜鼓镀膜面平行。

3.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：步骤a的镀膜鼓并列设置两个，分别为第一镀膜鼓（4）和第二镀膜鼓（17），两镀膜鼓之间设置过渡导向轮（18）。

4.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：所述热电偶通过高温胶粘贴在Mask挡板上。

5.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：所述热电偶的型号为K。

6.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，其特征在于：步骤 e中氩气的通往量为 Ar350sccm，其中sccm是标准毫升/分钟。

7.一种如权利要求1-5中任一项所述的测卷绕镀膜机Plasma温度的方法所用的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓（4）外套设有镀膜室（13），镀膜室（13）内均匀设置气体挡板（14），气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；其特征在于：在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板（15），Mask挡板上均匀设置有热电偶（16）；热电偶与测温仪相连。