[发明专利]用于磁控溅射镀膜机的承载装置在审
| 申请号： | 202011189378.2 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112281127A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 力家东;徐璐;祝海生;孙桂红;黄乐;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，用于磁控溅射镀膜机的承载装置包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。本发明提供的用于磁控溅射镀膜机的承载装置提高了工件的镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磁控溅射 镀膜 承载 装置 | ||
【主权项】：
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