[发明专利]用于磁控溅射镀膜机的承载装置

权利要求书

1.一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述用于磁控溅射镀膜机的承载装置包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。

2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述用于磁控溅射镀膜机的承载装置还包括驱动组件，所述驱动组件与所述第二安装盘连接以驱动所述第二安装盘绕其自身轴线旋转。

3.根据权利要求2所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动电机、主动轮以及从动轮，所述从动轮安装在所述第二安装盘远离所述第一安装盘的壁面上，所述主动轮与所述驱动电机的输出轴连接，所述主动轮与所述从动轮啮合连接。

4.根据权利要求3所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述用于磁控溅射镀膜机的承载装置还包括与所述安装筒的数量相等的旋转轴，所述旋转轴的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘相面对的壁面连接，所述旋转轴一一对应地插装在所述安装筒的轴心处，所述旋转轴能够绕其自身轴线旋转。

5.根据权利要求4所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述驱动组件包括第二驱动电机以及与所述第二驱动电机连接的旋转环，所述旋转环的外周壁设有啮合齿，所述安装筒的底部设置有旋转齿，所述啮合齿与所述旋转齿啮合连接。

6.根据权利要求5所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述安装筒的形状为正棱柱。

7.根据权利要求6所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，所述安装筒为中空结构。

8.根据权利要求7所述的用于磁控溅射镀膜机的承载装置，其特征在于，多个所述旋转轴沿所述第一安装盘的周向均匀间隔布置。