[发明专利]用于磁控溅射镀膜机的承载装置

说明书

本发明公开一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，用于磁控溅射镀膜机的承载装置包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。本发明提供的用于磁控溅射镀膜机的承载装置提高了工件的镀膜效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置。

背景技术

现有技术中，真空镀膜技术为科学研究和生产提供了膜层涂覆的新工艺，为光学研究、半导体电子学、表面科学、装饰工业等广泛的应用领域提供了新的技术手段。随着真空镀膜技术的飞速发展，以及其应用领域的不断延伸和扩展，带动国内真空镀膜设备的设计和制造水平得到了很大的提高，在许多方面缩短了与发达国家之间的差距。

现有的磁控溅射镀膜装置多将磁控溅射靶安装在真空镀膜室的中心或内壁上。无论磁控溅射靶安装在真空镀膜室的中心还是内壁上，真空镀膜室内的工件转架只可能安装在面对真空镀膜室内壁的外周壁上，从而对于设计尺寸比较大的真空镀膜室就会造成空间和资源的浪费，而降低工件的镀膜效率，且不利于降低生产成本以实现大规模工业生产。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，旨在提高工件的镀膜效率。

为实现上述目的，本发明提出的一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。

在一实施例中，所述用于磁控溅射镀膜机的承载装置还包括驱动组件，所述驱动组件与所述第二安装盘连接以驱动所述第二安装盘绕其自身轴线旋转。

在一实施例中，所述驱动组件包括第一驱动电机、主动轮以及从动轮，所述从动轮安装在所述第二安装盘远离所述第一安装盘的壁面上，所述主动轮与所述驱动电机的输出轴连接，所述主动轮与所述从动轮啮合连接。

在一实施例中，所述用于磁控溅射镀膜机的承载装置还包括与所述安装筒的数量相等的旋转轴，所述旋转轴的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘相面对的壁面连接，所述旋转轴一一对应地插装在所述安装筒的轴心处，所述旋转轴能够绕其自身轴线旋转。

在一实施例中，所述驱动组件包括第二驱动电机以及与所述第二驱动电机连接的旋转环，所述旋转环的外周壁设有啮合齿，所述安装筒的底部设置有旋转齿，所述啮合齿与所述旋转齿啮合连接。

在一实施例中，所述安装筒的形状为正棱柱。

在一实施例中，所述安装筒为中空结构。

在一实施例中，多个所述旋转轴沿所述第一安装盘的周向均匀间隔布置。

本发明的技术方案中，用于磁控溅射镀膜机的承载装置包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转，因而安装筒可通过饶其自身轴线旋转，将安装筒的整个外圆周均用于安装工件，使得在一次镀膜过程中能够承载更多工件，进而提升工件的镀膜效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。