[发明专利]一种氧化锌基气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用有效
| 申请号： | 202011170541.0 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112345599B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杨正 | 申请（专利权）人： | 微纳感知（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 叶濛濛 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种氧化锌基气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，包括以下步骤：(1)锌源溶液的配制；(2)取有机碱溶液滴加到锌盐溶液中，搅拌，超声分散，得到浊液；(3)将浊液置于50‑90℃烘箱中静置反应1‑24h，即制得氧化锌基气敏材料。本发明还提供上述制备方法制得的氧化锌基气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于：本发明制备方法简单，无昂贵的设备投入，易批量化生产，制备方法绿色能耗低。制得的化锌基气敏材料、MEMS敏感芯片、MEMS气体传感器用于对硫化氢气体的检测具有灵敏度高、选择性好，响应恢复时间短、检测范围宽的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 基气敏 材料 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于微纳感知（合肥）技术有限公司，未经微纳感知（合肥）技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011170541.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
