[发明专利]一种芯片光刻显影设备在审
| 申请号： | 202011168642.4 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112230518A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 赵震 | 申请（专利权）人： | 临漳县澳皇网络科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 056600 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片光刻显影设备，其结构包括主体、控制面板、散热口，主体的顶部设有控制面板，散热口设有两个，且分别位于主体的前端与侧端，主体包括水槽、放置装置、搅拌桨、循环水管、收集装置，放置装置包括过滤网、放置板、通水孔、排水槽，排水槽包括导料块、安装槽、导向装置，导向装置包括转动轴、回卷弹簧、导料板、卡料块，本发明利用在放置装置的侧端设置过滤网将铜屑进行过滤，再利用将循环水管设置在水槽的底端对蚀刻液进行抽取，使得蚀刻液能够带动铜屑往放置排水槽的外端进行流动，最后利用导向装置的翻转功能，能够避免置于水槽中的铜屑跟随蚀刻液往放置装置内部进行流动，从而不会让反应产生的铜屑附在芯片上的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 光刻 显影 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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