[发明专利]一种晶圆光刻用光罩组件

摘要

本发明公开了一种晶圆光刻用光罩组件，其结构包括安装机构、聚焦镜、固定环、玻璃管、底座，安装机构镶嵌设于聚焦镜的上端内侧面，聚焦镜设于玻璃管的内侧端面，固定环贴合包裹在玻璃管的横向外侧端面，玻璃管嵌固安装在底座的正上方，随着图板的不断施压拉扯镶嵌机构使倒角槽与活动机构之间的距离不断远离直至倒角槽贴合在固定座的上端左右两侧，利用镶嵌机构的壁厚填充电路板与安装机构内端面之间的间隙，由于镶嵌机构皆采用橡胶材质制成，当其受拉扯或挤压时可有效产生形变避免两者间的摩擦。