[发明专利]一种晶圆光刻用光罩组件

权利要求书

1.一种晶圆光刻用光罩组件，其结构包括安装机构(1)、聚焦镜(2)、固定环(3)、玻璃管(4)、底座(5)，所述安装机构(1)镶嵌设于聚焦镜(2)的上端内侧面，所述聚焦镜(2)设于玻璃管(4)的内侧端面，所述固定环(3)贴合包裹在玻璃管(4)的横向外侧端面，所述玻璃管(4)嵌固安装在底座(5)的正上方；其特征在于：

所述安装机构(1)包括镶嵌机构(11)、透光镜(12)、固定座(13)、嵌固块(14)，所述镶嵌机构(11)镶嵌设于固定座(13)的正上方，所述透光镜(12)贴合于固定座(13)的下侧端面，所述固定座(13)镶嵌卡合连接着嵌固块(14)，所述嵌固块(14)位于镶嵌机构(11)的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻用光罩组件，所述镶嵌机构(11)包括镶嵌块(111)、活动机构(112)、贴合机构(113)、倒角槽(114)、橡胶环(115)，所述镶嵌块(111)对称安装在橡胶环(115)的左右两侧，所述活动机构(112)镶嵌卡合安装在镶嵌机构(11)的内侧端面，所述贴合机构(113)镶嵌设于镶嵌机构(11)的内侧端面，所述倒角槽(114)对称安装在橡胶环(115)的左右两侧。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆光刻用光罩组件，所述活动机构(112)包括活动块(121)、柔性层(122)、嵌固槽(123)、橡胶槽(124)、双层轴(125)，所述活动块(121)位于嵌固槽(123)的左侧方，所述柔性层(122)镶嵌卡合安装在橡胶槽(124)的左侧上方，所述嵌固槽(123)贴合包裹于橡胶槽(124)的外侧端面，所述橡胶槽(124)镶嵌设于双层轴(125)的右侧方，所述双层轴(125)活动卡合连接着柔性层(122)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆光刻用光罩组件，所述柔性层(122)包括弹性绳(221)、第二嵌固块(222)、第二镶嵌块(223)、嵌固板(224)，所述弹性绳(221)左右两侧镶嵌卡合连接着第二嵌固块(222)，所述第二嵌固块(222)嵌固安装在柔性层(122)的内侧端面，所述第二镶嵌块(223)镶嵌设于柔性层(122)的下端表面，所述嵌固板(224)贴合于第二嵌固块(222)的外侧端面。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆光刻用光罩组件，所述贴合机构(113)包括牵引环(131)、嵌连块(132)、定位块(133)、第二活动块(134)，所述牵引环(131)镶嵌设于贴合机构(113)的内侧端面，所述嵌连块(132)镶嵌卡合安装在第二活动块(134)的上端面，所述定位块(133)嵌固安装在第二活动块(134)的下端面，所述第二活动块(134)对称安装在牵引环(131)的左右两端。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆光刻用光罩组件，所述牵引环(131)包括第二橡胶环(311)、活动槽(312)、牵引绳(313)、嵌连槽(314)、折叠片(315)，所述第二橡胶环(311)镶嵌卡合于牵引环(131)的内侧端面，所述活动槽(312)镶嵌设于第二橡胶环(311)的内侧端面，所述牵引绳(313)左侧端面嵌固连接着第二橡胶环(311)，所述嵌连槽(314)位于活动槽(312)的下端右侧，所述折叠片(315)镶嵌卡合安装在第二橡胶环(311)的左右两侧。