[发明专利]一种晶圆光刻用光罩组件

说明书

本发明公开了一种晶圆光刻用光罩组件，其结构包括安装机构、聚焦镜、固定环、玻璃管、底座，安装机构镶嵌设于聚焦镜的上端内侧面，聚焦镜设于玻璃管的内侧端面，固定环贴合包裹在玻璃管的横向外侧端面，玻璃管嵌固安装在底座的正上方，随着图板的不断施压拉扯镶嵌机构使倒角槽与活动机构之间的距离不断远离直至倒角槽贴合在固定座的上端左右两侧，利用镶嵌机构的壁厚填充电路板与安装机构内端面之间的间隙，由于镶嵌机构皆采用橡胶材质制成，当其受拉扯或挤压时可有效产生形变避免两者间的摩擦。

技术领域

本发明属于晶圆光刻显影领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆光刻用光罩组件。

背景技术

又称光掩模版、掩膜版是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光被曝光的区域会被显影出来，然后应用于集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。

基于上述本发明人发现，现有的主要存在以下几点不足，比如：当在将电路图板安装至定位槽上端表面时，需将电路板顺着定位槽槽壁向下推动，而在安装电路图板且失去平衡时，会使电路图板的一边端面优先嵌入定位槽，使另一端面与定位槽内轮廓间存在间隙，在电路图板在嵌入定位槽内曝光的同时，其横向外轮廓壁会与定位槽内壁相摩擦，导致两者连接端面在压下安装的过程中持续发生碰撞，从而影响电路图板光刻精度与电路图板完整度。

因此需要提出一种晶圆光刻用光罩组件。

发明内容

为了解决上述技术当在将电路图板安装至定位槽上端表面时，需将电路板顺着定位槽槽壁向下推动，而在安装电路图板且失去平衡时，会使电路图板的一边端面优先嵌入定位槽，使另一端面与定位槽内轮廓间存在间隙，在电路图板在嵌入定位槽内曝光的同时，其横向外轮廓壁会与定位槽内壁相摩擦，导致两者连接端面在压下安装的过程中持续发生碰撞，从而影响电路图板光刻精度与电路图板完整度的问题。

本发明一种晶圆光刻用光罩组件的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：其结构包括安装机构、聚焦镜、固定环、玻璃管、底座，所述安装机构镶嵌设于聚焦镜的上端内侧面，所述聚焦镜设于玻璃管的内侧端面，所述固定环贴合包裹在玻璃管的横向外侧端面，所述玻璃管嵌固安装在底座的正上方；所述安装机构包括镶嵌机构、透光镜、固定座、嵌固块，所述镶嵌机构镶嵌设于固定座的正上方，所述透光镜贴合于固定座的下侧端面，所述固定座镶嵌卡合连接着嵌固块，所述嵌固块位于镶嵌机构的正下方。

其中，所述镶嵌机构包括镶嵌块、活动机构、贴合机构、倒角槽、橡胶环，所述镶嵌块对称安装在橡胶环的左右两侧，所述活动机构镶嵌卡合安装在镶嵌机构的内侧端面，所述贴合机构镶嵌设于镶嵌机构的内侧端面，所述倒角槽对称安装在橡胶环的左右两侧，所述橡胶环采用橡胶材质制成。

其中，所述活动机构包括活动块、柔性层、嵌固槽、橡胶槽、双层轴，所述活动块位于嵌固槽的左侧方，所述柔性层镶嵌卡合安装在橡胶槽的左侧上方，所述嵌固槽贴合包裹于橡胶槽的外侧端面，所述橡胶槽镶嵌设于双层轴的右侧方，所述双层轴活动卡合连接着柔性层，所述橡胶槽的内轮廓呈直角状且设有倒角。

其中，所述柔性层包括弹性绳、第二嵌固块、第二镶嵌块、嵌固板，所述弹性绳左右两侧镶嵌卡合连接着第二嵌固块，所述第二嵌固块嵌固安装在柔性层的内侧端面，所述第二镶嵌块镶嵌设于柔性层的下端表面，所述嵌固板贴合于第二嵌固块的外侧端面，所述第二镶嵌块表面设有环状条可与双层轴内端面镶嵌。

其中，所述贴合机构包括牵引环、嵌连块、定位块、第二活动块，所述牵引环镶嵌设于贴合机构的内侧端面，所述嵌连块镶嵌卡合安装在第二活动块的上端面，所述定位块嵌固安装在第二活动块的下端面，所述第二活动块对称安装在牵引环的左右两端，所述定位块与第二活动块的连接端面呈夹角状。