[发明专利]膜层结构及其制备方法、显示面板和显示装置有效
| 申请号： | 202011158348.5 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112271266B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 陈琦鹤;高昕伟;李朋;李伟 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方卓印科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H10K50/844 | 分类号： | H10K50/844;H10K71/00 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张筱宁;宋海斌 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种膜层结构及其制备方法、显示面板和显示装置，膜层结构的制备方法包括：在器件层的一侧制作第一平坦层，第一平坦层具有与器件层的第一凸起结构相对应的第二凸起中间结构；在第一平坦层远离器件层的一侧制作第二平坦中间结构，且第二平坦中间结构的刻蚀速度小于第一平坦层的刻蚀速度；对第二平坦中间结构和第二凸起中间结构进行刻蚀，得到第二平坦结构和第二凸起结构，第二凸起结构远离器件层的一侧与第二平坦结构远离器件层的一侧平齐。本申请实施例采用的膜层结构的制备方法可以简化膜层平坦化的制备工艺过程，无需耗费昂贵的掩模版，并且可以全面地同时进行刻蚀，极大地降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
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