[发明专利]一种锗单晶切片脱胶剂及其脱胶方法有效

专利信息
申请号: 202011153915.8 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN112376060B 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 房现阁;柯尊斌;王卿伟 申请(专利权)人: 中锗科技有限公司
主分类号: C23G1/24 分类号: C23G1/24
代理公司: 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 代理人: 李建芳
地址: 211299 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种锗单晶切片脱胶剂及其脱胶方法,锗单晶切片脱胶剂,包括二氯甲烷、乙酸异戊酯和水,二氯甲烷和乙酸异戊酯的体积比为(6~9.5):(0.5~4),水的体积为二氯甲烷和乙酸异戊酯体积和的5%~50%。本发明锗单晶切片脱胶剂,其成本仅为丙酮的1/6左右,大大降低了生产成本;以水作为密封层,有效阻止了二氯甲烷和乙酸异戊酯的挥发,避免了挥发损耗,降低了脱胶剂的使用量;加速了脱胶速度,提高了生产效率;使用过程中损耗少,废液存量可观,可通过常压蒸馏回收,反复利用,进一步降低了生产成本。
搜索关键词: 一种 锗单晶 切片 脱胶 及其 方法
【主权项】:
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