[发明专利]体声波谐振器及组件、滤波器、电子设备在审
申请号: | 202011133753.1 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN114389559A | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 庞慰;班圣光;徐洋;杨清瑞;张孟伦 | 申请(专利权)人: | 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
代理公司: | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人: | 汤雄军 |
地址: | 300462 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极;压电层;和顶电极,其中:所述谐振器还包括声阻层,所述声阻层设置在第一层与第二层之间,所述声阻层的内边缘在水平方向上处于声学镜边界的内侧,所述声阻层的声阻不同于所述压电层的声阻;所述谐振器还包括凸起结构。进一步的,所述声阻层的内边缘在水平方向上处于所述凸起结构的内边缘的外侧,或者所述声阻层的内边缘在水平方向上与所述凸起结构的内边缘齐平。本发明还涉及体声波谐振器组件,一种滤波器和一种电子设备。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 组件 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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