[发明专利]压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法在审
| 申请号： | 202011132054.5 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112198759A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 陈福成 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭凤杰 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法以及硅通孔的制作方法，其中压印模具包括：模具主体，具有压印图形；无机膜层，覆盖模具主体具有压印图形的表面；有机膜层，位于无机膜层背离模具主体的表面。本申请可以在纳米压印时进行干净有效的脱模，从而解决脱模过程中的压印材料与模具的粘附问题。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模具 制作方法 纳米 方法 | ||
【主权项】：
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