[发明专利]一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟

摘要

本发明公开了一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；导电安装架包括正极连接部和负极连接部，正极连接部与电源正极连接，负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；两组导电安装架上均设有沿石墨舟片长度方向的镂空槽。该石墨舟能够减轻石墨舟的整体重量，并可以通过缩短硅片镀膜工艺过程对石墨舟升温或者降温操作的时间，提高镀膜效率，也可以在镀膜时通过增强气体的流动性来提高镀膜效率以及镀膜效果。