[发明专利]换能器、包括换能器的MEMS设备及用于制造换能器的方法有效
申请号: | 202011112281.1 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN112672260B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | L·塞吉齐;F·韦尔切西;C·佩德里尼 | 申请(专利权)人: | 意法半导体股份有限公司 |
主分类号: | H04R17/00 | 分类号: | H04R17/00;H04R31/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 董莘 |
地址: | 意大利阿格*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种换能器、包括换能器的MEMS设备及用于制造换能器的方法。换能器包括支撑体和机械地耦合到支撑体的悬置结构。悬置结构具有沿轴线彼此相对的第一表面和第二表面,并且被配置为在具有与轴线平行的至少一个分量的振荡方向上振荡。第一压电换能器被布置在该悬置结构的第一表面上,并且第二压电换能器被布置在该悬置结构的第二表面上。 | ||
搜索关键词: | 换能器 包括 mems 设备 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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