[发明专利]一种HCM机台用靶材的成型方法有效
| 申请号： | 202011097976.7 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112342509B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;曹欢欢;廖培君;慕二龙 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种HCM机台用靶材的成型方法，所述成型方法包括以下步骤：(1)对原料依次进行锻打、冲孔以及扩孔预成型处理，得到预处理料；(2)对步骤(1)得到的预处理料进行热处理，得到热处理料；(3)对步骤(2)得到的热处理料进行冲压成型，去除氧化皮并进行法兰焊接得到所述HCM机台用靶材。所述成型方法材料利用率高，制造成本低，成型难度低，提高了生产效率，且法兰强度高，不易变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hcm 机台 用靶材 成型 方法 | ||
【主权项】：
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