[发明专利]液体供应系统以及液体供应方法有效
| 申请号： | 202011095472.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113814097B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 黄扬伦;陈裕凯;方进坤 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/00 | 分类号： | B05B15/00;B05B15/40;B05B14/00;G03F7/16;G03F7/30;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种液体供应系统以及液体供应方法。液体供应方法包含使用一液体供应系统提供一液体至一第一晶圆上，其中该液体供应系统具有一液体容置槽、一喷头以及一第一过滤器，该液体供应系统用以使该液体从该液体容置槽经该第一过滤器而流至该喷头；停止提供该液体至该第一晶圆上；将该第一过滤器替换为一第二过滤器；外接一循环系统至该液体供应系统；使用该循环系统，使该液体循环地流过该第二过滤器；在使该液体循环地流过该第二过滤器之后，从该液体供应系统上，移除该循环系统；以及在移除该循环系统之后，使用该液体供应系统提供该液体至一第二晶圆上。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 供应 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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