[发明专利]柔性基板气泡修复方法、柔性基板及柔性显示面板在审
| 申请号： | 202011085601.9 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN114335402A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 苑志磊 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00;H01L21/66;G09F9/33;G09F9/30 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 夏彬 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性基板气泡修复方法、柔性基板及柔性显示面板，该修复方法包括如下步骤：检测并确定柔性基板的气泡的位置；定位激光束至柔性基板的气泡的位置；开启激光束辐射柔性基板的气泡以去除柔性基板的气泡；利用刻蚀工艺修饰去除柔性基板的气泡后形成的凹洞的倾斜角；沉积至少一无机膜层。本发明的方法通过激光束去除气泡附加刻蚀工艺修饰去除气泡留下的凹洞的倾斜角，使修复后的界面变得较为平缓，避免后续修复无机膜层由于凹洞的倾斜角过大从而不能完全覆盖凹洞从而使柔性基板裸露的情形，同时，修复后的柔性基板不会改变整体光学性能，不会影响后续OLED蒸镀对位，大大提高了柔性OLED产品的良率，降低因报废而造成的经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 气泡 修复 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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