[发明专利]一种沉积绝缘膜加工用监控报警系统在审
| 申请号： | 202011083795.9 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN114279487A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 黄中山;张建锐;王虎斌;李得平;林保璋 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G08B21/18 |
| 代理公司： | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人： | 高岩 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种沉积绝缘膜加工用监控报警系统，所述沉积绝缘膜加工用监控报警系统包括：多个沉积膜加工过程监控装置和控制中心，多个所述沉积膜加工过程监控装置均与所述控制中心电连接；所述控制中心包括信息接收模块、数据比对模块、报警模块、显示模块和人机交互模块，所述信息接收模块的输入端同时与所述压力信息采集模块、所述沉积液液位信息采集模块、所述温度信息采集模块、所述视频信息采集模块和所述位置信息采集模块电连接，输出端与所述数据对比模块电连接，所述报警模块同时与所述数据对比模块、所述显示模块和所述人机交互模块电连接，具有监测效率高、检测面广泛、报警快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 绝缘 工用 监控 报警 系统 | ||
【主权项】：
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