[发明专利]用于确定在晶片上生产的器件的特征的方法和器件在审
申请号: | 202011070639.9 | 申请日: | 2020-10-09 |
公开(公告)号: | CN112651206A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | C·齐默;D·拉多维克;E·S·施密特;M·屈内尔;M·赫尔曼;刘文庆;M·鲁比谦 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G06F30/392 | 分类号: | G06F30/392;H01L21/66 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张凌苗;陈岚 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
用于确定在晶片上生产的器件的特征的方法和器件。本发明涉及一种用于推断在晶片(1)上生产的器件(2)的器件特征( |
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搜索关键词: | 用于 确定 晶片 生产 器件 特征 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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