[发明专利]一种工作台倾角调整装置及其调整方法在审
| 申请号： | 202011065705.3 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112405342A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 朱祥龙;康仁科;姚卫华;董志刚;张高振;郭晓光 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B41/02 | 分类号： | B24B41/02;B24B47/00;B24B49/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 鲁保良;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工作台倾角调整装置及其调整方法，所述的装置包括工作台、床身、支撑机构和控制器；所述工作台通过三个支撑机构与床身连接，三个支撑机构沿工作台下法兰圆周均布；所述三个支撑机构包括一个可旋转支撑机构和两个可升降支撑机构。本发明通过采用外部驱动器、角度传感器、控制器与工作台倾角调整装置的机械结构部分相互配合的设计，其中位移传递构件可以将丝杠输出的位移缩小一定倍数，进一步提高调整装置的位移分辨率，角度传感器将外部驱动器已转动角度反馈给所述控制器，由控制器判断所述可升降支撑机构是否超调，可以提高所述工作台倾角调整装置的安全性。进而提高了半导体片的面形精度，继而提高了加工工件的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工作台 倾角 调整 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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