[发明专利]一种工作台倾角调整装置及其调整方法

说明书

本发明公开了一种工作台倾角调整装置及其调整方法，所述的装置包括工作台、床身、支撑机构和控制器；所述工作台通过三个支撑机构与床身连接，三个支撑机构沿工作台下法兰圆周均布；所述三个支撑机构包括一个可旋转支撑机构和两个可升降支撑机构。本发明通过采用外部驱动器、角度传感器、控制器与工作台倾角调整装置的机械结构部分相互配合的设计，其中位移传递构件可以将丝杠输出的位移缩小一定倍数，进一步提高调整装置的位移分辨率，角度传感器将外部驱动器已转动角度反馈给所述控制器，由控制器判断所述可升降支撑机构是否超调，可以提高所述工作台倾角调整装置的安全性。进而提高了半导体片的面形精度，继而提高了加工工件的合格率。

技术领域

本发明涉及半导体片超精密加工领域，特别涉及一种工作台倾角调整装置及其调整方法。

背景技术

在半导体片的精密磨削过程中，工作台与砂轮(或者抛光)主轴之间的夹角直接影响半导体片最终加工的面形精度，而工作台倾角调整的精度及精度稳定性和所使用的倾角调整装置密切相关。

现有工作台倾角调整装置大多数都是采用差动螺纹结构的手动调整方式，通过拧差动螺纹来调整工作台与床身之间的距离，进而调整工作台的倾角，这种调整装置的刚性较高。

但是该调整装置在实际使用过程中还存在一定的缺陷，如位移分辨率较低，难以达到亚微米级的位移分辨率；调整精度不足，依靠操作人员的经验进行调整；调整过程繁琐，尤其是在多主轴多工位的高集成度减薄装备的工作台调整时，该缺点更为明显。

发明内容

为解决现有技术存在的上述问题，本发明要设计一种具有位移分辨率高、调整精度高、调整过程简单，且具有自动倾角调整功能的工作台倾角调整装置及其调整方法。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：一种工作台倾角调整装置，包括工作台、床身、支撑机构、控制器和操作面板；所述工作台通过三个支撑机构与床身连接，三个支撑机构沿工作台下法兰圆周均布；所述三个支撑机构包括一个可旋转支撑机构和两个可升降支撑机构；

所述可旋转支撑机构包括球头、球头座和连接螺栓，所述球头座固定在床身上，所述球头与工作台下法兰连接，且所述球头开有光孔，所述连接螺栓穿过球头的光孔与球头座固定连接；所述球头相对于球头座具有三个方向的旋转自由度；

所述可升降支撑机构包括位移传递构件和驱动部件；所述位移传递构件包括三个连接部，三个连接部分别为输出连接部、支点连接部和输入连接部，所述位移传递构件通过输出连接部、支点连接部和输入连接部分别与工作台下法兰、床身和驱动部件中的螺母接触，构成一个杠杆机构；所述位移传递构件具有竖直方向的自由度；所述驱动部件的电机座内安装角度传感器，角度传感器用于检测外部驱动器中减速器输出轴的转动角度，所述角度传感器与控制器连接，所述控制器与操作面板连接。

进一步地，所述连接部包括圆形槽连接部、V形槽连接部、矩形槽连接部或球形连接件。

进一步地，所述球形连接件包括球形凸台和球形凹槽；所述球形凸台与球形凹槽相匹配。

进一步地，所述球形凸台位于球形凹槽的上方。

进一步地，所述球形凸台位于球形凹槽的下方。