[发明专利]清洁制造OLED使用的真空系统的方法及制造OLED的方法和设备有效
| 申请号： | 202011062624.8 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN112575309B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯特凡·凯勒;李宰源;安治高志;戴特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;H10K71/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容提供用于清洁在制造OLED装置中使用的真空系统的方法(100)。此方法(100)包括执行预清洁以清洁真空系统的至少一部分，和使用远程等离子体源执行等离子体清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 制造 oled 使用 真空 系统 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011062624.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
