[发明专利]一种电容器、制造方法和电子设备在审
申请号: | 202011061656.6 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN114335339A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 柳圣浩;周娜;王佳;李琳;李俊杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L49/02 | 分类号: | H01L49/02;H01L27/08;H01L21/82 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 刘广达 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种电容器、制造方法和电子设备。电容器包括:底部电极,所述底部电极包括堆叠的多个圆柱部分,所述多个圆柱部分的直径自下而上逐渐减小;介电膜,覆盖于所述底部电极外;顶部电极,覆盖于所述介电膜外。堆叠的多个直径自下而上逐渐减小的圆柱部分形成底部电极,使底部电极的高度在制造时易调整,并且,在高度较高时也不易倒塌。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容器 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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