[发明专利]一种多晶硅处理用全自动直拉单晶生长炉在审
| 申请号： | 202011054025.1 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112210821A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 严唐 | 申请（专利权）人： | 严唐 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶生长炉技术领域，且公开了一种多晶硅处理用全自动直拉单晶生长炉，包括上炉体、下炉体、籽晶轴驱动装置和支撑板，所述上炉体固定安装在下炉体的顶部，所述籽晶轴驱动装置固定安装在上炉体的顶部。通过液压缸将液压杆缩短至最短长度，第二固定座脱离地面，万向轮与地面接触，从而可轻松移动支撑板和隔热板，可非常方便地往坩埚中添加硅原料，且工作人员可从下炉体底部的通孔处进入，对该生长炉进行清理，更加方便快捷，通过弹簧和伸缩杆的设置，可将坩埚震动现象大大消减，从而提高坩埚的稳定性，减少硅在坩埚中的晃动，通过多个通气孔，可将氮气从不同的位置同时进入到下炉体的内腔中，可达到快速冷却的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 处理 全自动 直拉单晶 生长 | ||
【主权项】：
暂无信息
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