[发明专利]柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011044691.7 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112254747A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;杜琦峰;陈颖;王志建 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01D5/165;C08J9/36;C08L83/04;C08L75/04 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 林丽璀 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种柔性传感器及其制备方法，柔性传感器包括第一柔性基板与第二柔性基板，第一柔性基板与第二柔性基板具有导电性，第一柔性基板的一侧表面具有第一微结构阵列，第二柔性基板的一侧表面具有第二微结构阵列，第一微结构阵列的微结构间隙及第二微结构阵列的微结构间隙均设有介电层，第一微结构阵列与第二微结构阵列相向设置且微结构之间相互错位，以在微结构阵列之间形成微结构与微结构间隙配合的结构。外部压力导致微结构形变时，介电层处的电容信号发生变化以进行触觉反馈；外部剪切力使两个柔性基板的微结构之间的接触面积发生变化时，电阻信号变化以进行滑觉反馈，从而可以同时检测滑触觉，结构简单且更加精准。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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