[发明专利]用于高通量电学测试的方法及装置在审
申请号: | 202011034826.1 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN112505441A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 周艳;赵月雷;范开泉 | 申请(专利权)人: | 香港中文大学(深圳) |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R27/08 |
代理公司: | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人: | 王欣 |
地址: | 518115 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本说明书一个或多个实施例公开了一种用于高通量电学测试的方法及装置。该用于高通量电学测试的方法,包括:将待测样品加工成霍尔条,所述霍尔条包括主体部和设置于所述主体部的两侧并且相对设置的凸起部;通过控制所述霍尔条的凸起部与检测装置的通断电检测所述待测样品的电学性能,可以实现对微纳米级材料或者器件的高通量电学测试,并且测试效率得到提高。 | ||
搜索关键词: | 用于 通量 电学 测试 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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